SEM10101_Micro electronic mechanical devices

Môn học này cung cấp các kiến thức liên quan đến các hệ vi cơ điện tử, các phương pháp chế tạo vi cấu trúc như lithography, công nghệ vi cơ khối, công nghệ LIGA và công nghệ đóng gói linh kiện, kiến thức về chế tạo các linh kiện điện tử

  1. General course information
  • Course code: SEM10101   
  • Course title: LINH KIỆN VI CƠ ĐIỆN TỬ
  • Course title in English: Micro electronic mechanical devices
  • Credits: 3
  • Course structure:
  • Lecture hours: 30
  • Practical hours: 30
  • Tutorial hours: 0
  • Other (self-study hours): 90
  • Knowledge block: Specialisation
  • Prerequisites: None
  • Prior courses: Kỹ thuật vi chế tạo
  1. Brief course description:

This course covers microelectromechanical systems and microstructure fabrication methods such as lithography, bulk micromachining, LIGA technology and device packaging. It also covers the fabrication of electronic devices based on the micromachining methods studied.