1. Thông tin chung về học phần

• Mã học phần: PHY10131

• Tên học phần: HỆ VI CƠ ĐIỆN TỬ (MEMS)

• Tên học phần bằng tiếng Anh:  Electro-Micro-Mechanical Systems

• Số tín chỉ: 2

• Cấu trúc/cơ cấu học phần:

- Số tiết lý thuyết: 30

- Số tiết thực hành: 0

- Số tiết bài tập:

- Khác (Số tiết tự học): 15

• Loại học phần thuộc khối kiến thức: Chuyên ngành

• Các học phần tiên quyết: Thiết kế mạch tích hợp.

• Các học phần học trước học phần này: Thiết bị đo và cảm biến, Thực tập điện tử, thiết bị đo và cảm biến, Kỹ thuật điện tử ứng dụng

2. Mô tả vắn tắt nội dung học phần

• Vai trò của môn học: Kiến thức về ngành vi mạch và công nghệ bán dẫn.

• Vị trí môn học: sinh viên được học vào học kỳ 6 hay học kỳ 7 của chương trình cử nhân/kỹ sư (4 năm) hay năm 2 của chương trình Thạc sỹ liên quan.

• Kiến thức trang trị cho sinh viên: gắn kết các kiến thức về vật lý bán dẫn, tinh thể học (hay tương đương) với công nghệ bán dẫn cho việc hiểu cấu trúc và hoạt động của một số linh kiện tử bán dẫn, các hệ  vi cơ điện (MEMS).

• Quan hệ với các môn học khác: là môn học mang tính phát triển kiến thức một số môn đã học trong học kỳ 3,4,5 và cụ thể cho các ứng dụng, cho kiến thức để thực hiện seminar hay khóa luận tốt nghiệp.