- Thông tin chung về học phần
- Mã học phần: PHY10230
- Tên học phần: CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO LINH KIỆN BÁN DẪN
- Tên học phần bằng tiếng Anh: Technology of Semiconductor Device Fabrication
- Số tín chỉ: 4
- Cấu trúc/cơ cấu học phần:
- Số tiết lý thuyết: 45
- Số tiết thực hành: 30
- Số tiết bài tập: 0
- Khác (Số tiết tự học): 90
- Loại học phần thuộc khối kiến thức: Chuyên ngành.
- Các học phần tiên quyết: không
- Các học phần học trước học phần này: không
- Mô tả vắn tắt nội dung học phần:
Môn học trang bị cho người học những kiến thức cơ bản và có hệ thống về: các quá trình cơ sở của công nghệ bán dẫn như quá trình chế tạo mẫu và quá trình chế tạo thiết bị. Trong đó, các quá trình cơ sở của công nghệ bán dẫn bao gồm quá trình tạo plasma, chân không, các quá trình hóa học và photolithography. Phần nội dung này sẽ là khối kiến thức cơ bản và là nền tảng giúp sinh viên có thể hiểu và nắm vững được các phần nội dung tiếp theo của chương trình học. Phần nội dung về chế tạo mẫu sẽ tập trung giới thiệu hai quá trình chính là quá trình doping và tạo màng mỏng. Phần cuối học phần sẽ giới thiệu về các quy trình trong công đoạn cuối cùng của việc chế tạo thiết bị bán dẫn quang và điện.
