- Thông tin chung về học phần
- Mã học phần: SEM10003
- Tên học phần: CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO BÁN DẪN CƠ BẢN
- Tên học phần bằng tiếng Anh: Semiconductor Manufacturing Technology
- Số tín chỉ: 3
- Cấu trúc/cơ cấu học phần:
- Số tiết lý thuyết: 30
- Số tiết thực hành: 30
- Số tiết bài tập:
- Khác (Số tiết tự học): 90
- Loại học phần thuộc khối kiến thức: cơ sở ngành
- Các học phần tiên quyết: không
- Các học phần học trước học phần này: không
- Mô tả vắn tắt nội dung học phần:
Môn học giới thiệu quy trình sản xuất cho các loại thiết bị điện tử bán dẫn khác nhau như pin mặt trời và cảm biến. Quy trình chính bao gồm quang khắc, chế tạo silicon, cấy ion, lắng đọng hơi hóa học, lắng đọng hơi vật lý. Ngoài ra, các yếu tố liên quan giữa hiệu suất của hai loại thiết bị này đến quy trình chế tạo cũng được tích hợp trong môn học này
