1. Thông tin chung về học phần

• Mã học phần: SEM10004
• Tên học phần: KỸ THUẬT VI CHẾ TẠO
• Tên học phần bằng tiếng Anh: Microfabrication Technology
• Số tín chỉ: 3
• Cấu trúc/cơ cấu học phần:

• Số tiết lý thuyết: 15
• Số tiết thực hành: 60
• Số tiết bài tập: 0
• Khác (Số tiết tự học): 90

• Loại học phần thuộc khối kiến thức: cơ sở ngành
• Các học phần tiên quyết: không
• Các học phần học trước học phần này: không

2. Mô tả vắn tắt nội dung học phần:

Môn học bao gồm hai phần:

Bài giảng bắt đầu với thiết kế phòng sạch cơ bản, phân loại tiêu chuẩn phòng sạch, các nguồn ô nhiễm khác nhau, luồng không khí và lọc không khí trong phòng sạch. Các loại phòng sạch khác nhau sẽ được thảo luận tập trung vào chất bán dẫn và ứng dụng công nghệ nano. Xử lý hóa chất và các khía cạnh an toàn của phòng thí ngzhiệm, công việc sẽ được giải quyết trong bối cảnh các bài tập thực hành trong phòng sạch.

Trong phần thứ hai và quan trọng nhất của bài giảng liên quan đến các phương pháp khác nhau để chế tạo nano dựa trên kỹ thuật in thạch bản sẽ được thảo luận chi tiết. Kiến thức này sau đó sẽ được áp dụng trực tiếp trong phần thực hành.