1. Thông tin chung về học phần

• Mã học phần: SEM10101   
• Tên học phần: LINH KIỆN VI CƠ ĐIỆN TỬ
• Tên học phần bằng tiếng Anh: Micro electronic mechanical devices
• Số tín chỉ: 3
• Cấu trúc/cơ cấu học phần:

• Số tiết lý thuyết: 30
• Số tiết thực hành: 30
• Số tiết bài tập: 0
• Khác (Số tiết tự học): 90

• Loại học phần thuộc khối kiến thức: Chuyên ngành
• Các học phần tiên quyết: không
• Các học phần học trước học phần này: Kỹ thuật vi chế tạo

2. Mô tả vắn tắt nội dung học phần:

Môn học này cung cấp các kiến thức liên quan đến các hệ vi cơ điện tử, các phương pháp chế tạo vi cấu trúc như lithography, công nghệ vi cơ khối, công nghệ LIGA và công nghệ đóng gói linh kiện. Đồng thời môn học này cũng cung cấp cho sinh viên các kiến thức về chế tạo các linh kiện điện tử dựa trên các phương pháp vi cơ đã học.