- Thông tin chung về học phần
- Mã học phần: SEM10105
- Tên học phần: SẢN XUẤT LINH KIỆN BÁN DẪN VÀ KIỂM SOÁT QUY TRÌNH
- Tên học phần bằng tiếng Anh: Semiconductor Devices Manufacturing and Process Control
- Số tín chỉ: 3
- Cấu trúc/cơ cấu học phần:
- Số tiết lý thuyết: 30
- Số tiết thực hành: 30
- Số tiết bài tập: 0
- Khác (Số tiết tự học): 90
- Loại học phần thuộc khối kiến thức: chuyên ngành
- Các học phần tiên quyết: Kỹ thuật vi chế tạo; Vật lý linh kiện bán dẫn; Công nghệ chế tạo bán dẫn cơ bản
- Các học phần học trước học phần này: Vật lý bán dẫn và nano bán dẫn; Vật lý linh kiện bán dẫn; Công nghệ chế tạo bán dẫn cơ bản
- Mô tả vắn tắt nội dung học phần:
Cung cấp kiến thức tổng quát cho sinh viên về quy trình chế tạo hoàn chỉnh của một linh kiện bán dẫn và kiểm soát quy trình chế tạo. Ngoài ra sinh viên được thực hành một hoặc vài bước (steps) của quy trình chế tạo một linh kiện bán dẫn để hiểu cách thực nghiệm và kiểm chứng lại phần lý thuyết đã học.
