1. Thông tin chung về học phần

• Mã học phần: SEM10110 
• Tên học phần: MÔ PHỎNG NHIỆT ĐỘNG HỌC PLASMA TRONG CHẾ TẠO BÁN DẪN
• Tên học phần bằng tiếng Anh: Simulation Plasma Thermodynamics of semiconductor fabrication
• Số tín chỉ: 3
• Cấu trúc/cơ cấu học phần:

• Số tiết lý thuyết: 30
• Số tiết thực hành: 30
• Số tiết bài tập: 0
• Khác (Số tiết tự học): 90

• Loại học phần thuộc khối kiến thức: chuyên ngành
• Các học phần tiên quyết: không
• Các học phần học trước học phần này: không

2. Mô tả vắn tắt nội dung học phần:

Nội dung môn học gồm 2 phần chính bao gồm cả lý thuyết và thực hành:

• Ôn tập kiến thức về ngôn ngữ lập trình Matlab: Sinh viên sẽ được vận dụng ngôn ngữ Matlab để mô phỏng các quá trình nhiệt động trong hệ plasma.
• Lý thuyết: Sinh viên được trang bị các kiến thức về hệ plasma phóng điện khí, các loại va chạm trong hệ plasma, các quá trình chuyển động và va chạm của các hạt mang điện và nguyên tử trong hệ phún xạ magnetron dc. Thành lập các mô hình các quá trình.
• Thực hành 1: Tính toán các phân bố nhiệt động lực học của hệ hạt, tính toán quãng đường tự do trung bình của hạt, xác định các đại lượng đặc trưng cho các quá trình vận chuyển của hệ hạt như sự khuếch tán phân tử, sự khuếch tán động lượng và sự khuếch tán năng lượng.
• Thực hành 2: Mô phỏng các mô hình chuyển động và va chạm trong plasma, quá trình lắng đọng màng mỏng.

Môn học này nằm trong nội dung chương trình đào tạo về mô phỏng bán dẫn và các ứng dụng của chúng. Lớp học sẽ được học chung phần lý thuyết, và chia nhóm thực hành.