1. Thông tin chung về học phần
Mã học phần: PET10124
Tên học phần: KỸ THUẬT VI CHẾ TẠO
Tên học phần bằng tiếng Anh: Microfabrication Technology
Số tín chỉ: 3
Cấu trúc/cơ cấu học phần:
- Số tiết lý thuyết: 30 tiết
- Số tiết thực hành: 30 tiết
- Số tiết bài tập: 0 tiết
- Khác: tự học 90 tiết
Loại học phần thuộc khối kiến thức: chuyên ngành
Các học phần tiên quyết: không
Các học phần học trước học phần này: không
2. Mô tả vắn tắt nội dung học phần
Học phần cung cấp nền tảng kiến thức và kỹ năng toàn diện về công nghệ vi chế tạo, tập trung vào các quy trình cốt lõi được thực hiện trong môi trường phòng sạch (cleanroom). Nội dung chính bao gồm ba mảng công nghệ trụ cột: quang khắc (photolithography) để định hình cấu trúc, lắng đọng màng mỏng (thin-film deposition) để xây dựng các lớp vật liệu chức năng, và ăn mòn (etching) để loại bỏ vật liệu không mong muốn với độ chính xác cao.
Sinh viên sẽ được học cách thiết kế, tích hợp các quy trình này một cách tuần tự để tạo ra các cấu trúc và linh kiện hoạt động ở quy mô micro và nano. Môn học sẽ đi từ việc chế tạo các linh kiện điện tử cơ bản đến việc phát triển các hệ thống phức tạp hơn như hệ thống vi cơ điện tử (MEMS), linh kiện quang điện tử, và các loại cảm biến tiên tiến.
Phần thực hành được thiết kế để áp dụng trực tiếp lý thuyết vào thực tiễn, cho phép sinh viên trải nghiệm một quy trình chế tạo hoàn chỉnh từ khâu thiết kế, mô phỏng đến chế tạo và kiểm định sản phẩm. Kết thúc môn học, người học sẽ có đủ năng lực để tham gia vào các hoạt động nghiên cứu và phát triển trong các lĩnh vực công nghệ cao đòi hỏi kỹ thuật chế tạo ở cấp độ hiển vi.