I. Bộ môn Vật Lý Ứng Dụng:
1. Hệ máy tạo màng phún xạ magnetron DC.
Bộ môn Vật Lý Ứng Dụng thiết kế và chế tạo hệ máy tạo màng mỏng phún xạ magnetron DC, với các thông số như sau:
- Buồng chân không bằng thép không rỉ, đường kính 320 x 430 mm. Áp suất trong buồng đạt 10-4 - 10-5 torr
- Hệ thống giải nhiệt bằng nước.
- Hệ magnetron tròn hoặc vuông (3 hệ trong buồng chân không).
- Các loại van xả khí vào buồng (van tự động), bộ lọc khí.
- Bộ cấp nguồn, cảm biến áp suất ....
- Áp kế chân không .
- Bơm chân không sơ cấp, bơm chân không khuếch tán.
Mọi chi tiết liên hệ tại BM Vật Lý Ứng Dụng
2. Hê tạo màng mỏng bốc bay (phục vu cho giảng dạy và nghiên cứu)
Mọi chi tiết liên hệ tại BM Vật Lý Ứng Dụng
3. Các loại target gốm và kim loại chất lượng tốt, giá thành rẻ, phục vụ cho nghiên cứu.
- Target dang tròn (đường kính 75 mm) và dạng hình chữ nhật (có nhiều kích thước khác nhau có thể thay đổi theo hệ magnetron)
- Target gốm ZnO (99,9%) và (ZnO:In, ZnO:Al; ZnO:Ga; ZnO:Ti ...... với các nồng độ pha tạp khác nhau)
- Target gốm TiO2.
- Target kim loại Zn (99,9%), Ag, Al .....
Mọi chi tiết liên hệ tại BM Vật Lý Ứng Dụng.
4. Các loai màng mỏng ứng dụng cho (quang, điện, quang xúc tác, điện sắc, cơ.....)
- Màng quang xúc tác TiO2, TiO2:Sn, và TiO2:N:
Vật liệu TiO2 là chất bán dẫn có tính năng quang xúc tác rất mạnh, ứng dụng rộng rãi trong xử lý môi trường. Đã có rất nhiều công trình trong và ngoài nước nghiên cứu về vật liệu này. Chỉ bằng việc chiếu sáng, các chất hữu cơ, các chất bẩn bám trên màng bị phân hủy và bề mặt màng trở nên sạch. Tính chất này được áp dụng làm sạch nước, không khí và diệt khuẩn.Màng quang xúc tác TiO2 đã được nghiên cứu và chế tạo tại Bộ môn Vật lý Ứng dụng bằng cả hai phương pháp: Phún xạ và Sol-gel, bước đầu đã có những thành công đáng kể.
Mọi chi tiết vui lòng liên hệ:
+ Phương pháp phún xạ
PGS.TS. Vũ Thị Hạnh Thu
Email: vththu@hcmus.edu.vn
TS. Lê Trấn
Email: ltran@hcmus.edu.vn
+ Phương pháp Sol-gel
PGS.TS. Lâm Quang Vinh
Email: lqvinh@hcmus.edu.vn
- Màng chống phản xạ đa lớp AR (TiO2/SiO2).
Màng chống phản xạ đa lớp (2-4 lớp) TiO2/SiO2 trong vùng khả kiến, được chế tạo trên đế thủy tinh có độ phản xạ thấp 1-2 %, ứng dụng trong các hệ thấu kính hiển vi, máy ảnh,....
Màng được chế tạo thành công tại bộ môn Vật Lý Ứng Dụng, bằng phương pháp phún xạ magnetron DC va RF.
Mọi chi tiết xin liên hệ: PGS.TS. Lê Vũ Tuấn Hùng
Email: lvthung@hcmus.edu.vn
- Các loại gương nóng truyền qua
Màng đa lớp TiO2(ngoài)/TiO2(đệm)/TiN/Ag/TiN/TiO2(trong) có hai tính chất quan trọng: tính gương nóng truyền qua và tính quang xúc tác. Tính chất gương nóng được ứng dụng để chế tạo các loại kính tiết kiệm năng lượng cho các tòa nhà cao tầng, kính chống nóng cho ô tô,... Tính chất quang xúc tác giúp màng có khả năng tự diệt khuẩn, chống bẩn, chống đọng nước,...Tác dụng của từng lớp màng: + Lớp TiO2(trong): giúp chống phản xạ (anti-reflective). + Lớp TiN: giúp tăng khả năng hợp mạng giữa lớp TiO2 và lớp Ag, đồng thời, làm tăng độ bền cơ cho lớp Ag. + Lớp Ag: phản xạ cao bức xạ vùng hồng ngoại + Lớp TiO2(ngoài): bảo vệ lớp TiN khỏi sự oxy hóaMàng đa lớp TiO2(ngoài)/TiO2(đệm)/TiN/Ag/TiN/TiO2(trong) đã được chế tạo thành công tại Bộ môn Vật lý Ứng dụng bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC gần cân bằng trong công trình khoa học của TS. Lê Trấn.
Mọi chi tiết xin liên hệ: TS. Lê Trấn
Email: ltran@hcmus.edu.vn
- Màng cơ (màng cứng) TiN, ZrN:
Màng cứng được định nghĩa là các loại màng có độ cứng cao, hệ số ma sát thấp, ít bị mài mòn. Màng cứng thường được ứng dụng phủ bên ngoài các công cụ cần độ cứng cao như mũi khoan, đầu cắt hoặc phủ lên các chi tiết kim loại nhằm tăng tuổi thọ của chúng.Màng cứng được chế tạo từ các vật liệu có độ cứng cao và trơ về mặt hóa học như TiN, TiC, ZrN,...Màng TiN có độ bền cơ học, hóa học lẫn nhiệt học rất cao và có tính chất quang điện giống màng kim lọai vàng (Au). Độ cứng cao: 21 - 24 Gpa. Nhiệt nóng chảy: 2950 0C. Điện trở suất 20 - 30 mW.cm.
Màng ZrN có độ cứng lớn hơn cả TiN, khả năng chống ăn mòn cực tốt. Màng ZrN còn có thể phục vụ trong các lãnh vực thời trang cao cấp: tạo lớp phủ ánh vàng lên gọng kiếng, mặt đồng hồ...)
Mọi chi tiết xin liên hệ: TS. Lê Trấn
Email: ltran@hcmus.edu.vn
- Màng điện sắc WO3, V2O5 .....
WO3 (Tungsten Oxit) là vật liệu có nhiều tính chất lý hóa thú vị và đang được nghiên cứu rộng rãi, đáng chú ý nhất là tính điện sắc. Điện sắc là tính chất mà khi ta áp một điện trường lên màng, màu sắc hay độ truyền qua của màng sẽ thay đổi. Màng điện sắc WO3 có tiềm năng ứng dụng rất lớn trong nhiều lĩnh vực đời sống như: pin nạp xả cho các thiết bị điện tử, cửa sổ thông minh, kính chống lóa, chống phản xạ. Màng WO3 bước đầu đã được chế tạo thành công tại Bộ môn Vật lý Ứng dụng bằng phương pháp Phún xạ Magnetron RF trên đế thủy tinh.
Mọi chi tiết xin liên hệ: TS. Lê Văn Ngọc
Email: lvngoc@hcmus.edu.vn
- Các lọai màng trong suốt dẫn điện ITO, ZnO, các loại màng bán dẫn loại n và loại p
Màng ZnO được xem là loại màng oxide dẫn điện trong suốt (TCO) và thường được để thay thế màng ITO. Nó có độ rộng vùng cấm lớn khoảng 3,3eV, điện trở của màng khá thấp khoảng 10-6Ωm, hệ số hấp thụ của màng trong vùng khả kiến khoảng 5.103cm-1. Ngoài ra, màng ZnO pha tạp là một lĩnh vực nghiên cứu mới mẻ và đầy tiềm năng. Các màng pha tạp thường tập trung vào các nguyên tố pha tạp nhóm IIIA như Al, Ga, In và các nguyên tố nhóm IA như Li, Ni.
Màng ZnO và ZnO pha tạp bán dẫn loại n va p đã được chế tạo thành công tại Bộ môn Vật lý Ứng dụng bằng phương pháp Phún xạ Magnetron DC.
Mọi chi tiết xin liên hệ: PGS.TS. Lê Vũ Tuấn Hùng
Email: lvthung@hcmus.edu.vn
5. Các chương trình mô phỏng tính toán
- Các tính chất quang và mô phỏng màng đơn lớp, đa lớp bằng thuật toán genetic, viết bằng ngôn ngữ Matlab.
- Các chương trình tinh tối ưu các thông số trong hệ phún xạ magnetron .... bằng thuật toán động học Monter Carlo, viết bằng ngôn ngữ Matlab.
Mọi chi tiết xin liên hệ: PGS.TS. Lê Vũ Tuấn Hùng
Email: lvthung@hcmus.edu.vn
